手把手教你学 Simulink—— 半导体光刻机工件台永磁直线电机的无模型自适应控制仿真

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手把手教你学 Simulink

—— 半导体光刻机工件台永磁直线电机的无模型自适应控制仿真

一、为什么光刻机工件台"不能靠精确建模"？